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 ?Bronkhorst®型号FG-110C高性能质量流量计（MFM）适用于在真空和100巴之"间的操作压力下测量0,014 … 0,7 mln / min和0,18 … 9 mln / min的流量范围。 MFM由热质量流量传感器和基于微处理器的印刷电路板组成，带有信号和现场总线转换，以及PID控制器，可通过单独安装的控制阀进行可选的质量流量控制。

高性能气体质量流量控制器

• 车载气体转换模型（多流体/多量程）
• 嵌入100种*的气体
• 用户可配置的I / O功能
• 大大降低了功耗
• 流信号处理的进一步发展
• 高度稳定的流量控制机制几乎不受工艺波动的影响
• 先进的控制阀设计

  质量流量计应用领域
   

  　　分析/环保设备
   

  　　在食品，化学和石化行业中气体流量的监控
   

  　　气体消耗监测和核算
   

  　　通过相应对象来检测气体的泄漏情况
   

  　　半导体制造业
   

  　　表面处理装置